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單晶爐“棒擺”原因分析及應對對策

[2014/1/2]

　　單晶爐是一種在惰性氣體環(huán)境中,使用加熱器將多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。單晶爐在感應熔煉中應用很普遍，不過作為一種熔煉設備出現(xiàn)故障是在所難免的，“棒擺”就是一種常見的單晶爐故障，今天小編就和大家分享一下單晶爐出現(xiàn)“棒擺”的原因和解決方法。

單晶爐“棒擺”原因分析及應對對策

　　“棒擺”是專業(yè)術語，其實就是同城我們所說的單晶爐晶棒晃動，可能發(fā)生在整個單晶爐拉晶的各個階段。而產(chǎn)生晶棒晃動的原因有很多，到目前為止也沒有一個確定的答案，但是主要是由于以下幾個地方出現(xiàn)故障造成的：
　　1.提拉頭，減速機構/旋轉機構或者熱場和軟軸。
　　2.惰性氣體如氬氣在爐內(nèi)的流動，爐子的結構設計出現(xiàn)問題，熱場的設計和分布不均勻。
　　3.冷卻系統(tǒng)和真空系統(tǒng)出現(xiàn)故障，硅料和重錘的結構出現(xiàn)偏差。
　　不僅單晶爐的晶棒會晃動，液面也有可能出現(xiàn)抖動現(xiàn)象，液面出現(xiàn)抖動的原因主要有以下幾點：
　　1.下軸傳動部分出現(xiàn)蝸輪斷齒等減速器故障。
　　2.下軸機械部分出現(xiàn)問題，比如有死點有雜物或者潤滑程度不夠等。
　　我們在使用的單晶爐的時候，不僅要掌握單晶爐操作步驟，而且要能在單晶爐出現(xiàn)故障時及時發(fā)現(xiàn)原因并采取有效的應對措施。
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